(1994). Проблемы микроэлектронной технологии: Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т. Москва Наука 1994.
Chicago-стиль цитированияПроблемы микроэлектронной технологии: Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т. Москва Наука 1994, 1994.
MLA-цитированиеПроблемы микроэлектронной технологии: Рос. акад. наук, Физ.-технол. ин-т. Москва Наука 1994, 1994.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.