Киреев В. Ю., Данилин Б. С., & Кузнецов В. И. (1983). Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. Москва Радио и связь 1983.
Chicago-стиль цитированияКиреев В. Ю., Данилин Б. С, and Кузнецов В. И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. Москва Радио и связь 1983, 1983.
MLA-цитированиеКиреев В. Ю., Данилин Б. С, and Кузнецов В. И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. Москва Радио и связь 1983, 1983.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.