Соколов И. А. (1994). Расчеты процессов полупроводниковой технологии: И. А. Соколов. Москва Металлургия 1994.
Chicago-стиль цитированияСоколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии: И. А. Соколов. Москва Металлургия 1994, 1994.
MLA-цитированиеСоколов И. А. Расчеты процессов полупроводниковой технологии: И. А. Соколов. Москва Металлургия 1994, 1994.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.