Харченко В. В. (1989). Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем: В. В. Харченко. Ташкент Фан 1989.
Chicago-стиль цитированияХарченко В. В. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем: В. В. Харченко. Ташкент Фан 1989, 1989.
MLA-цитированиеХарченко В. В. Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем: В. В. Харченко. Ташкент Фан 1989, 1989.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.