Карпович Р. А. (1976). Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976.
Chicago-стиль цитированияКарпович Р. А. Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976, 1976.
MLA-цитированиеКарпович Р. А. Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976, 1976.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.