APA Цитирование

Карпович Р. А. (1976). Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976.

Chicago-стиль цитирования

Карпович Р. А. Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976, 1976.

MLA-цитирование

Карпович Р. А. Фото-, электроно-, ренгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем: Р. А. Карпович. Москва 1976, 1976.

Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.