(1987). Низкотемпературное легирование полупроводников и многослойных структур микроэлектроники: УдГУ им. 50-летия СССР и др. Устинов 1987.
Chicago-стиль цитированияНизкотемпературное легирование полупроводников и многослойных структур микроэлектроники: УдГУ им. 50-летия СССР и др. Устинов 1987, 1987.
MLA-цитированиеНизкотемпературное легирование полупроводников и многослойных структур микроэлектроники: УдГУ им. 50-летия СССР и др. Устинов 1987, 1987.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.