Березин Г. Н., Никитин А. В., & Сурис Р. А. (1982). Оптические основы контактной фотолитографии: Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. Москва Радио и связь 1982.
Chicago-стиль цитированияБерезин Г. Н., Никитин А. В, and Сурис Р. А. Оптические основы контактной фотолитографии: Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. Москва Радио и связь 1982, 1982.
MLA-цитированиеБерезин Г. Н., Никитин А. В, and Сурис Р. А. Оптические основы контактной фотолитографии: Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис. Москва Радио и связь 1982, 1982.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.