Борисенко А. С., & Бавыкин Н. И. (1983). Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. Москва Машиностроение 1983.
Chicago-стиль цитированияБорисенко А. С., and Бавыкин Н. И. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. Москва Машиностроение 1983, 1983.
MLA-цитированиеБорисенко А. С., and Бавыкин Н. И. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. Москва Машиностроение 1983, 1983.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.