Боков Ю. С., Корсаков В. С., & Лаврищев В. П. (1977). Введение в фотолитографию: [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева. Москва Энергия 1977.
Chicago-стиль цитированияБоков Ю. С., Корсаков В. С, and Лаврищев В. П. Введение в фотолитографию: [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева. Москва Энергия 1977, 1977.
MLA-цитированиеБоков Ю. С., Корсаков В. С, and Лаврищев В. П. Введение в фотолитографию: [Ю. С. Боков и др.] под ред. В. П. Лаврищева. Москва Энергия 1977, 1977.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.