Родионов Ю. А. (1998). Литография в производстве интегральных микросхем: Ю.А. Родионов. Минск Дизайн ПРО 1998.
Chicago-стиль цитированияРодионов Ю. А. Литография в производстве интегральных микросхем: Ю.А. Родионов. Минск Дизайн ПРО 1998, 1998.
MLA-цитированиеРодионов Ю. А. Литография в производстве интегральных микросхем: Ю.А. Родионов. Минск Дизайн ПРО 1998, 1998.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.