(1994). Проблемы микроэлектронной технологии: отв. ред. Л. В. Великов. Москва Наука 1994.
Chicago-стиль цитированияПроблемы микроэлектронной технологии: отв. ред. Л. В. Великов. Москва Наука 1994, 1994.
MLA-цитированиеПроблемы микроэлектронной технологии: отв. ред. Л. В. Великов. Москва Наука 1994, 1994.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.