Данилин Б. С. (1972). Вакуумная техника в производстве интегральных схем: Б. С. Данилин. Москва Энергия 1972.
Chicago-стиль цитированияДанилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем: Б. С. Данилин. Москва Энергия 1972, 1972.
MLA-цитированиеДанилин Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем: Б. С. Данилин. Москва Энергия 1972, 1972.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.