Блинов И. Г., & Кожитов Л. В. (1986). Оборудование полупроводникового производства: И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. Москва Машиностроение 1986.
Chicago-стиль цитированияБлинов И. Г., and Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства: И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. Москва Машиностроение 1986, 1986.
MLA-цитированиеБлинов И. Г., and Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства: И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. Москва Машиностроение 1986, 1986.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.