Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло
Сохранено в:
| База данных: | Национальная библиотека УР. Каталог |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Текст |
| Язык: | Русский |
| Опубликовано: |
Наука, Сибирское отделение
1991
|
| Предметы: | |
| Ключевые слова: | |
| ISBN: | |
| Объем: |
165, [2] c.
|
| Библиографическое описание: |
Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло. - Новосибирск : Наука, Сибирское отделение, 1991. - 165, [2] с.; 21 см. - 890 экз. - ISBN 5-02-029696-1
|
|---|---|
| Прочая информация: | Экземпляры: КХ (20110826) / Инвентарный номер: 991088 / Цена: 2.90 / Сис.шифр: 22.37 / Авт.знак: М 74 / ГРНТИ: 29 / ББК: 22.379.2 |