Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте-Карло

Сохранено в:
Библиографические подробности
База данных: Национальная библиотека УР. Каталог
Другие авторы: Стенин С. И.
Формат: Текст
Язык:Русский
Опубликовано: Наука, Сибирское отделение 1991
Предметы:
Ключевые слова:
ISBN:
Объем:
165, [2] c.

Схожие документы