Получение наноразмерных мультислоев методами магнетронного и лазерного распыления и исследование их кинетических свойств...

Автор Аверьянов, Виктор Евгеньевич, Алалыкин, С. С., Ветошкин, В. М., Крылов, П. Н.
Год издания 2001