|
|
|
|
| LEADER |
00882nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
0FCD7D40-0FB7-433F-8FF7-1A9F018CB8F3 |
| 010 |
|
|
|d р.0.15
|
| 100 |
|
|
|a 20120425d1983 m y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Шаги к микроразмерам
|e методы микроминиатюризации
|f В. К. Александров
|g под ред. В. А. Пилиповича
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Наука и техника
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 72 с.
|c ил.
|d 16 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 71
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектроника
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Александров
|b В. К.
|g Владимир Кузьмич
|
| 702 |
|
1 |
|a Пилипович
|b В. А.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20120425
|
