|
|
|
|
| LEADER |
01811nam0a2200337 i 4500 |
| 001 |
28A249DE-A685-490D-924B-3B478C6A8C20 |
| 100 |
|
|
|a 20140117d2013 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология тонких пленок
|e учебно-методическое пособие
|f В. М. Ветошкин, В. Ф. Кобзев, Э. А. Романов
|g М-во образования и науки РФ, ФГБОУ ВПО "Удмурт. гос. ун-т", Физико-энергет. фак., Каф. физики твердого тела
|
| 210 |
|
|
|a Ижевск
|c Удмуртский государственный университет
|d 2013
|
| 215 |
|
|
|a 73, [1]с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. с. 74 (7 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Тонкие пленки
|x Получение
|x Технология
|
| 610 |
1 |
|
|a метод магнетронного распыления
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a метод термического вакуумного распыления
|
| 686 |
|
|
|a 22.371.26
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29.19.16
|2 rugasnti
|
| 675 |
|
|
|a 538.9
|
| 700 |
|
1 |
|a Ветошкин
|b В. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кобзиев
|b В. Ф.
|
| 701 |
|
1 |
|a Романов
|b Э. А.
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Удмуртский государственный университет
|c (Ижевск)
|b Физико-энергетический факультет
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Удмуртский государственный университет
|c (Ижевск)
|b Физико-энергетический факультет
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20140117
|
