Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов Г. И. Котенко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Котенко Г. И.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ленинград Ленинградский электротехнический институт 1979
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01256nam0a2200253 i 4500
001 DB110A4B-7241-44B8-A1A9-7E1373172787
100 |a 20201102d1979 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 000#y 
200 1 |a Технология изготовления тонкопленочных элементов приборов  |e лекции  |f Г. И. Котенко  |g Лениградский институт авиационного приборостроения 
210 |a Ленинград  |c Ленинградский электротехнический институт  |d 1979 
215 |a 59с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиография: с. 58 (7 названий) 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Производство 
686 |a 32  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Котенко  |b Г. И.  |g Георгий Иванович 
711 0 2 |a Лениградский институт авиационного приборостроения 
712 0 2 |a Лениградский институт авиационного приборостроения 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20201102