|
|
|
|
| LEADER |
00968nam0a2200241 i 4500 |
| 001 |
0226EDBF-1956-4DAD-9AB0-BE28FEAA264F |
| 100 |
|
|
|a 20210128d1979 k y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Расчет комплексов оборудования микроэлектроники
|f Р. В. Корнилов, В. Л. Сандеров
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 104с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 101-103 (41 название)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Механизация
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Корнилов
|b Р. В.
|g Ростислав Васильевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Сандеров
|b В. Л.
|g Вильям Лазаревич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20210128
|
