Лазерная технология в производстве интегральных микросхем Е. И. Верховский

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Верховский Е. И.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Высшая школа 1990
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00987nam0a2200241 i 4500
001 026388A4-9A02-48F8-A8BA-9BEAD9AFF322
010 |a 5-06-001078-3  |d р.0.10 
100 |a 20070824d1990 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 000#y 
200 1 |a Лазерная технология в производстве интегральных микросхем  |e [учеб. пособие для ПТУ]  |f Е. И. Верховский 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 1990 
215 |a 54, [2]с.  |c ил.  |d 21 см 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Производство 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Лазерная обработка 
686 |a 32.844.15  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Верховский  |b Е. И.  |g Евгений Ильич 
801 0 |b НБУР  |a RU  |c 20070824