|
|
|
|
LEADER |
00987nam0a2200241 i 4500 |
001 |
026388A4-9A02-48F8-A8BA-9BEAD9AFF322 |
010 |
|
|
|a 5-06-001078-3
|d р.0.10
|
100 |
|
|
|a 20070824d1990 |||y0rusy02 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a j 000#y
|
200 |
1 |
|
|a Лазерная технология в производстве интегральных микросхем
|e [учеб. пособие для ПТУ]
|f Е. И. Верховский
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1990
|
215 |
|
|
|a 54, [2]с.
|c ил.
|d 21 см
|
606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Лазерная обработка
|
686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Верховский
|b Е. И.
|g Евгений Ильич
|
801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 20070824
|