Ионная имплантация и лучевая технология под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута; пер. с англ. А. М. Евстигнеева ; под общ. ред. О. В. Снитко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Вильямс Дж. С., Поут Д. М., Гиббонс Д. Ф.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Киев Наукова думка 1988
Ключевые слова:
LEADER 01339nam0a2200313 i 4500
001 22540650-E4FC-41F4-B1AB-366AE6A815D6
010 |a 5-12-009334-5  |d р.5.50 
100 |a 20081115d1988 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a UA 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Ионная имплантация и лучевая технология  |f под ред. Дж. С. Вильямса, Дж. М. Поута; пер. с англ. А. М. Евстигнеева ; под общ. ред. О. В. Снитко  |g [Дж. С. Вильямс, Дж. М. Поут, Дж. Ф. Гиббонс и др.] 
210 |a Киев  |c Наукова думка  |d 1988 
215 |a 357, [1]с.  |c ил.  |d 22 см 
300 |a Авт. указаны в огл. 
320 |a Библиогр.: с. 327-353. - Предм. указ.: с. 354-358 
606 |a Ионное легирование 
606 |a Электронно-лучевая технология 
686 |a 30.61/67  |2 rubbk 
686 |a 81  |2 rugasnti 
701 1 |a Вильямс  |b Дж. С. 
701 1 |a Поут  |b Д. М. 
701 1 |a Гиббонс  |b Д. Ф. 
702 1 |a Снитко  |b О. В.  |g Олег Вячеславович  |4 340 
702 1 |a Евстигнеев  |b А. М.  |4 730 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20081115