|
|
|
|
| LEADER |
00981nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
24C77853-53CA-436C-B743-BE37FD8C4C8D |
| 010 |
|
|
|a 5-03-001717-8
|d р.5.00
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
0 |
|
|a Микролитография
|e принципы, методы, материалы : в 2 ч.
|f У. Моро ; пер. с англ. Р. Х. Тимерова ; предисл. К. А. Валиева
|h Ч. 2
|f пер. Д. Ю. Зарослова [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a С. 614-1239, [5]
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 1227-1235
|
| 606 |
|
|
|a Микролитография
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Моро
|g Уэйн
|
| 702 |
|
1 |
|a Зарослов
|b Д. Ю.
|4 730
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
