Описание: Технология тонких пленок

Сохранить в:

Библиографические подробности
Автор:	Ветошкин В. М.
Другие авторы:	Кобзиев В. Ф., Романов Э. А.
Тип документа:	Книга
Язык:	Russian
Год издания:	Ижевск Удмуртский государственный университет 2013
Предметная рубрика:	метод магнетронного распыления ионно-лучевое травление ионно-плазменное травление метод термического вакуумного распыления
Рубрика:	Получение Технология
Ключевые слова:	Тонкие пленки Получение Технология

Недоступно описание.