|
|
|
|
| LEADER |
01083nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
2A4877C0-E2BB-4021-B11C-FE65674CE9E4 |
| 100 |
|
|
|a 20150318d1970 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Развитие метода катодного распыления
|f В. Н. Гаштольд
|g М-во электрон. пром-сти СССР
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Электроника
|d 1970
|
| 215 |
|
|
|a 44с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Обзоры по электронной технике
|i Серия "Микроэлектроника"
|v вып. 179
|
| 606 |
|
|
|a Катодное распыление
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Гаштольд
|b В. Н.
|g Владимир Николаевич
|
| 711 |
0 |
2 |
|a СССР. Министерство электронной промышленности
|
| 712 |
0 |
2 |
|a СССР. Министерство электронной промышленности
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20150318
|
