Лазерная обработка пленочных элементов В. П. Вейко

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Вейко В. П.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Ленинград Машиностроение, Ленинградское отделение 1986
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 00895nam0a2200241 i 4500
001 2AA7E0A4-3FDF-4E4B-864E-EB1AAA0C8277
010 |d р.1.30 
100 |a 20130416d1986 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Лазерная обработка пленочных элементов  |f В. П. Вейко 
210 |a Ленинград  |c Машиностроение, Ленинградское отделение  |d 1986 
215 |a 247, [1]с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр.: с. 239-246 (188 назв.) 
606 |a Микроэлектронные схемы интегральные  |x Обработка лазерная 
686 |a 32  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Вейко  |b В. П.  |g Вадим Павлович 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20130416