|
|
|
|
| LEADER |
01175nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
36273D4D-CD38-4958-B647-BB5ACF828798 |
| 010 |
|
|
|d р.0.61
|
| 100 |
|
|
|a 20150813d1975 m y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем
|f И. Д. Голото, Б. П. Докучаев, Г. Д. Колмогоров
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1975
|
| 215 |
|
|
|a 209с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 203-207 (90 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Голото
|b И. Д.
|g Иван Данилович
|
| 701 |
|
1 |
|a Докучаев
|b Б. П.
|g Борис Павлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Колмогоров
|b Г. Д.
|g Георгий Дмитриевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20150813
|
