Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы перевод с английского под редакцией В. С. Вавилова
Сохранить в:
| Тип документа: | Книга |
|---|---|
| Язык: | Russian English |
| Год издания: |
Москва Мир 1980
|
| Рубрика: | |
| Ключевые слова: |
| LEADER | 01010nam0a2200241 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 37F24647-6CE6-4BC1-853E-7034A446F723 | ||
| 100 | |a 20180403d1980 |||y0rusy02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus |c eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a zz 000#y | ||
| 200 | 1 | |a Ионная имплантация в полупроводники и другие материалы |e сборник статей |f перевод с английского под редакцией В. С. Вавилова | |
| 210 | |a Москва |c Мир |d 1980 | ||
| 215 | |a 331с. |c ил. |d 20 см | ||
| 225 | 2 | |a Новости физики твердого тела |v вып. 10 | |
| 320 | |a Библиография в конце статей | ||
| 606 | |a Ионы |x Взаимодействие с поверхностью твердых тел | ||
| 686 | |a 22 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 29 |2 rugasnti | ||
| 702 | 1 | |a Вавилов |b В. С. |g Виктор Сергеевич |4 340 | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20180403 | |