|
|
|
|
| LEADER |
01525nam0a2200301 i 4500 |
| 001 |
39D7DE75-8E61-4C7D-BC64-0A6B9803227A |
| 010 |
|
|
|d р.5.00
|
| 100 |
|
|
|a 20081111d1991 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 100#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Материалы II всесоюзного межотраслевого совещания "Тонкие пленки в электронике"
|f Научно-производственное объединение "Техномаш" [и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|a Ижевск
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 84с.
|c ил.
|
| 606 |
|
|
|a Тонкие пленки
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|a 22.371.26
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 710 |
1 |
2 |
|a "Тонкие пленки в электронике", всесоюзное межотраслевое совещание
|d (2:
|f 1991:
|e Ижевск)
|
| 711 |
0 |
2 |
|a "Техномаш", научно-производственное объединение
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Центральный научно-исследовательский технологический институт
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Научно-исследовательский институт вакуумно-электронного машиностроения
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Академия наук CССР
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Институт физической химии
|c (Москва)
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081111
|
| 856 |
2 |
|
|u https://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/5928
|
