Физические принципы микротехнологии А. С. Ахманов
Сохранить в:
| Автор: | |
|---|---|
| Тип документа: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Год издания: |
Москва Издательство Московского университета 1988
|
| Ключевые слова: |
| LEADER | 00707nam0a2200229 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 5A7B295E-8FFF-470D-B7F6-A98EBE11719B | ||
| 010 | |d р.0.10 | ||
| 100 | |a 20081114d1988 |||y0rusy02 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y ||||000zy | ||
| 200 | 1 | |a Физические принципы микротехнологии |f А. С. Ахманов | |
| 210 | |a Москва |c Издательство Московского университета |d 1988 | ||
| 215 | |a 62с. | ||
| 606 | |a Микротехнология | ||
| 686 | |a 32.844.15 |2 rubbk | ||
| 686 | |a 47 |2 rugasnti | ||
| 700 | 1 | |a Ахманов |b А. С. | |
| 801 | 0 | |b ГПНТБ России |a RU |c 20081114 | |