Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов В. К. Александров, Ю. Н. Биенко, В. Н. Ильин

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Александров В. К.
Другие авторы: Биенко Ю. Н., Ильин В. Н.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Минск Наука и техника 1988
Ключевые слова:
LEADER 01424nam0a2200313 i 4500
001 6136D3AF-A6B1-4BEF-B8C4-0E404F15823A
010 |a 5-343-00264-1  |d р.1.80 
100 |a 20080729d1988 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Оптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов  |f В. К. Александров, Ю. Н. Биенко, В. Н. Ильин  |g АН БССР, Ин-т электроники 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1988 
215 |a 239, [1]с.  |c ил.  |d 21 см 
320 |a Библиогр.: с. 233-238 (120 назв.) 
606 |a Контрольно-измерительные инструменты и приборы оптоэлектронные 
686 |a 31.221.02-5  |2 rubbk 
686 |a 45  |2 rugasnti 
700 1 |a Александров  |b В. К.  |g Владимир Кузьмич 
701 1 |a Биенко  |b Ю. Н.  |g Юрий Николаевич 
701 1 |a Ильин  |b В. Н.  |g Виктор Николаевич 
711 0 2 |a Академия наук БССР 
711 0 2 |a Институт электроники 
712 0 2 |a Академия наук БССР 
712 0 2 |a Институт электроники 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20080729