Валиев К. А., & Раков А. В. (1984). Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: К. А. Валиев, А. В. Раков. Москва Радио и связь 1984.
Chicago-стиль цитированияВалиев К. А., and Раков А. В. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: К. А. Валиев, А. В. Раков. Москва Радио и связь 1984, 1984.
MLA-цитированиеВалиев К. А., and Раков А. В. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: К. А. Валиев, А. В. Раков. Москва Радио и связь 1984, 1984.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.