Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике К. А. Валиев, А. В. Раков

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Валиев К. А.
Другие авторы: Раков А. В.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Радио и связь 1984
Рубрика:
Ключевые слова:

Недоступно

Подробно о фондах из Недоступно
Шифр: Временно недоступно
Копировать 1 Доступно