|
|
|
|
| LEADER |
01152nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
83E71F66-A648-4FE7-9A10-D045F62E9BDE |
| 010 |
|
|
|d р.0.80
|
| 100 |
|
|
|a 20120924d1973 m y0rusy02
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов
|e [для вузов по специальности "Технология спец. материалов электронной техники"]
|f А. И. Беляев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1973
|
| 215 |
|
|
|a 223с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 220-223
|
| 606 |
|
|
|a Металлы химически чистые
|x Получение
|x Физико-химические основы
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Очистка
|x Физико-химические основы
|
| 686 |
|
|
|a 34
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 53
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Беляев
|b А. И.
|g Анатолий Иванович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20120924
|
