Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов А. Е. Степанов, Л. Г. Кириллова

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Степанов А. Е.
Другие авторы: Кириллова Л. Г.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Киев Наукова думка 1988
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01144nam0a2200253 i 4500
001 8C7E9BC8-CAF9-42C9-895B-461C5B9FAC0A
010 |a 5-12-009333-7  |d р.2.20 
100 |a 20081106d1988 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a UA 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Математическое моделирование процессов выращивания кристаллических полупроводниковых материалов  |f А. Е. Степанов, Л. Г. Кириллова  |g АН УССР, Ин-т пробл. моделирования в энергетике 
210 |a Киев  |c Наукова думка  |d 1988 
215 |a 181, [3]с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиогр.: с. 176-182 (130 назв.) 
606 |a Полупроводники  |x Кристаллы  |x Получение 
686 |a 32.843.3  |2 rubbk 
686 |a 47  |2 rugasnti 
700 1 |a Степанов  |b А. Е.  |g Аркадий Евгеньевич 
701 1 |a Кириллова  |b Л. Г.  |g Лариса Генриховна 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20081106