|
|
|
|
LEADER |
00983nam0a2200253 i 4500 |
001 |
90CEED62-CD70-4A38-8B0D-8BE8F4F58886 |
100 |
|
|
|a 20191022d1975 k y0rusy02 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a z 000#y
|
200 |
1 |
|
|a Диффузия и окисление полупроводников
|f Н. А. Колобов, М. М. Самохвалов
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1975
|
215 |
|
|
|a 454с.
|c ил.
|d 20 см
|
320 |
|
|
|a Библиография: с. 438-449. - Предметный указатель: с. 450-454
|
606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Диффузия
|
606 |
|
|
|a Полупроводники
|x Окисление
|
686 |
|
|
|a 22
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 29.19.31
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Колобов
|b Н. А.
|g Николай Афанасьевич
|
701 |
|
1 |
|a Самохвалов
|b М. М.
|g Марк Маркович
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20191022
|