Технология полупроводникового кремния под ред. Э. С. Фалькевича

Сохранить в:
Библиографические подробности
Другие авторы: Фалькевич Э. С., Пульнер Э. О., Червоный И. Ф.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Москва Металлургия 1992
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01079nam0a2200277 i 4500
001 9EEA0BBE-192E-4C26-8E86-8DD60E4B78B7
010 |a 5-229-00740-0  |d р.16.00 
100 |a 20090805d1992 |||y0rusy0103 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Технология полупроводникового кремния  |f под ред. Э. С. Фалькевича  |g [Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др.] 
210 |a Москва  |c Металлургия  |d 1992 
215 |a 406, [1]с.  |c ил.  |d 22 см 
300 |a Авт. указаны на обороте тит. л. 
320 |a Библиогр.: с. 399-407 (298 назв.) 
606 |a Кремний  |x Получение 
686 |a 34.333  |a 22.379.2  |2 rubbk 
686 |a 53  |a 29  |2 rugasnti 
701 1 |a Фалькевич  |b Э. С.  |g Эдуард Семенович 
701 1 |a Пульнер  |b Э. О. 
701 1 |a Червоный  |b И. Ф. 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20090805