|
|
|
|
| LEADER |
01098nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
A3AA13B9-58FA-4101-A81B-AECFAA43B283 |
| 010 |
|
|
|d р.0.30
|
| 100 |
|
|
|a 20151013d1981 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройства и методы фотометрического контроля в технологии производства ИС
|f О. П. Глудкин, А. Е. Густов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 112с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|v 26
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 105-108 (66 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Технический контроль
|x Оптические методы
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47.09.99
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Глудкин
|b О. П.
|g Олег Павлович
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20151013
|
