|
|
|
|
LEADER |
01401nam0a2200289 i 4500 |
001 |
A958E010-D48F-465C-9CD0-FC1DF4BFD95B |
010 |
|
|
|a 5-02-006826-8
|d р.2.10
|
100 |
|
|
|a 20110718d1991 |||y0rusy02 ca
|
101 |
0 |
|
|a rus
|
102 |
|
|
|a RU
|
105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
200 |
1 |
|
|a Рентгеновская оптика
|f В. В. Аристов, А. И. Ерко
|g отв. ред. Э. В. Суворов; АН СССР, Ин-т пробл. технологии микроэлектрон. и особочистых материалов
|
210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1991
|
215 |
|
|
|a 149, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 132-148 (239 назв.)
|
606 |
|
|
|a Рентгеновские лучи
|x Оптика
|
686 |
|
|
|a 22.346
|2 rubbk
|
686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
700 |
|
1 |
|a Аристов
|b В. В.
|g Виталий Васильевич
|
701 |
|
1 |
|a Ерко
|b А. И.
|g Алексей Иванович
|
702 |
|
1 |
|a Суворов
|b Э. В.
|4 340
|
711 |
0 |
2 |
|a Институт проблем технологии микроэлектронных и особочистых материалов
|c (Москва)
|
712 |
0 |
2 |
|a Институт проблем технологии микроэлектронных и особочистых материалов
|c (Москва)
|
801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20110718
|