|
|
|
|
| LEADER |
00969nam0a2200241 i 4500 |
| 001 |
B00CC4AE-2B94-4275-9201-1E5B0B0020A8 |
| 010 |
|
|
|d р.3.30
|
| 100 |
|
|
|a 20161011d1978 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Микрометаллургия в микроэлектронике
|e принципы технологии в полупроводниковом приборостроении
|f В. Ф. Дорфман
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1978
|
| 215 |
|
|
|a 272с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 261-268. - Предметный указатель: с. 269-270
|
| 606 |
|
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Дорфман
|b В. Ф.
|g Вениамин Фриделевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20161011
|
