Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии

Сохранить в:
Библиографические подробности
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Новосибирск Наука, Сибирское отделение 1988
Рубрика:
Ключевые слова:
LEADER 01458nam0a2200301 i 4500
001 B6C359C3-3E26-441F-B892-67D4E9E61091
010 |a 5-02-028671-0  |d р.3.40 
100 |a 20110826d1988 |||y0rusy02 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a ||||000zy 
200 1 |a Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок  |e сб. науч. тр.  |f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т неорган. химии  |g отв. ред. Ф. А. Кузнецов 
210 |a Новосибирск  |c Наука, Сибирское отделение  |d 1988 
215 |a 195, [3]с.  |c ил.  |d 22 см 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
606 |a Полупроводники  |x Кристаллы  |x Рост 
606 |a Полупроводниковые пленки  |x Получение 
686 |a 22.379.2  |2 rubbk 
686 |a 29  |2 rugasnti 
702 1 |a Кузнецов  |b Ф. А.  |g Федор Андреевич  |4 340 
711 0 2 |a Институт неорганической химии  |c (Новосибирск) 
711 0 2 |a Академия наук СССР  |b Сибирское отделение 
712 0 2 |a Институт неорганической химии  |c (Новосибирск) 
712 0 2 |a Академия наук СССР  |b Сибирское отделение 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20110826