Радиоволновая эллипсометрия В. А. Конев, Е. М. Кулешов, Н. Н. Пунько ; под редакцией И. С. Ковалева

Сохранить в:
Библиографические подробности
Автор: Конев В. А.
Другие авторы: Кулешов Е. М., Пунько Н. Н.
Тип документа: Книга
Язык:Russian
Год издания: Минск Наука и техника 1985
Ключевые слова:
LEADER 01436nam0a2200313 i 4500
001 B9390FFD-DD5C-4315-8CC8-9CE56AE4E3A0
100 |a 20201221d1985 k y0rusy02  
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 000#y 
200 1 |a Радиоволновая эллипсометрия  |f В. А. Конев, Е. М. Кулешов, Н. Н. Пунько ; под редакцией И. С. Ковалева  |g АН БССР, Институт прикладной физики 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1985 
215 |a 104с.  |c ил.  |d 20 см 
320 |a Библиография: с. 99-102 (58 названий) 
606 |a Эллипсометрия радиоволновая 
686 |a 22  |2 rubbk 
686 |a 29  |2 rugasnti 
700 1 |a Конев  |b В. А.  |g Владимир Афанасьевич 
701 1 |a Кулешов  |b Е. М.  |g Евгений Митрофанович 
701 1 |a Пунько  |b Н. Н.  |g Николай Николаевич 
702 1 |a Ковалев  |b И. С.  |4 340 
711 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР 
711 0 2 |a Институт прикладной физики  |c (Минск) 
712 0 2 |a Академия наук Белорусской ССР 
712 0 2 |a Институт прикладной физики  |c (Минск) 
801 0 |b ГПНТБ России  |a RU  |c 20201221