|
|
|
|
| LEADER |
01209nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
BD70F721-0A08-4414-B781-BAC5313E73B2 |
| 010 |
|
|
|a 5-06-000731-6
|d р.1.60
|
| 100 |
|
|
|a 20081114d1991 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники
|e [учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов
|f под ред. А. А. Сазонова
|g А. А. Сазонов и др.]
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 333, [1]с.
|c ил.
|d 21 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 332 (12 назв.)
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Автоматизация
|
| 606 |
|
|
|a Автоматизация
|x Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 701 |
|
1 |
|a Сазонов
|b А. А.
|g Александр Афанасьевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081114
|
