|
|
|
|
| LEADER |
01106nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
C08354F6-DD37-4260-9A89-FFBBF4017190 |
| 010 |
|
|
|a 5-02-000723-4
|d р.2.60
|
| 100 |
|
|
|a 20081115d1988 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологические проблемы микроэлектроники
|f отв. ред.: Т. М. Махвиладзе, А. В. Раков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 169, [3]с.
|c ил.
|d 24 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Тр. ин-та общ. физики
|f АН СССР ; гл. ред. А. М. Прохоров
|x 0233-9390
|v т. 14
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Физические основы
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Махвиладзе
|b Т. М.
|g Тариэль Михайлович
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Раков
|b А. В.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081115
|
