|
|
|
|
| LEADER |
01131nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
C1D44A85-8B2F-45D9-9348-23BCC6482A0B |
| 010 |
|
|
|a 5-02-006867-5
|d р.16.90
|
| 100 |
|
|
|a 20081115d1992 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Моделирование технологических процессов микроэлектроники
|f отв. ред. [и авт. предисл.] Т. М. Махвиладзе
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 117, [3]с.
|c ил.
|d 24 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Труды ФТИАН
|f РАН, Физ-технолог. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев
|x 0868-7129
|v т. 3
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронные схемы интегральные
|x Производство
|x Математические исследования
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.15
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Махвиладзе
|b Т. М.
|g Тариэль Михайлович
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081115
|
