Микролитография У. Моро ; пер. с англ. Р. Х. Тимерова ; предисл. К. А. Валиева
Сохранить в:
Автор: | Моро |
---|---|
Тип документа: | Книга |
Язык: | Russian |
Год издания: |
Москва Мир 1990
|
Ключевые слова: |
Схожие документы
-
Микролитография
Автор: Моро
Год издания: (1990) -
Физика субмикронной литографии
Автор: Валиев К. А.
Год издания: (1990) -
Изготовление рабочих элементов покрытий
Автор: Скворцов К. Ф.
Год издания: (1990) -
Микроструктурирование тонких пленок
Год издания: (1991) -
Радиационная микролитография в процессах изготовления изделий функциональной электроники
Год издания: (1988)