|
|
|
|
| LEADER |
01266nam0a2200277 i 4500 |
| 001 |
C8E169E2-1386-4265-BC8B-8D39998E32F9 |
| 010 |
|
|
|a 5-02-029916-2
|d р.5.30
|
| 100 |
|
|
|a 20081225d1991 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Эллипсометрия. Теория. Методы. Приложения
|e сб. науч. тр.
|f АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
|g отв. ред. К. К. Свиташев, А. С. Мардежов
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука, Сибирское отделение
|d 1991
|
| 215 |
|
|
|a 251, [1]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Эллипсометрия
|
| 686 |
|
|
|a 22.365.36
|a 32.852
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Свиташев
|b К. К.
|g Константин Константинович
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Мардежов
|b А. С.
|4 340
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Институт физики полупроводников
|c (Новосибирск)
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081225
|
