|
|
|
|
| LEADER |
02514nam0a2200469 i 4500 |
| 001 |
CAC66BFB-F239-42E7-8831-FEBE614113AB |
| 100 |
|
|
|a 19971015d1993 k y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y m 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Двумерная диффузия в многослойных тонкопленочных структурах
|e автореферат на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07- физика твердого тела
|f Геннадий Иванович Сысоев ; [научный руководитель В. А. Стерхов]
|g Российская академия наук, Уральское отделение, Физико-технический институт
|
| 210 |
|
|
|a Ижевск
|d 1993
|
| 215 |
|
|
|a 20с.
|
| 300 |
|
|
|a На правах рукописи
|
| 328 |
|
|
|a Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидат физико-математических наук: 01.04.00
|
| 606 |
|
|
|a Тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a Планарность
|
| 610 |
1 |
|
|a Слоистые структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a Поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a Границы раздела
|
| 610 |
1 |
|
|a Интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a Взаимодиффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a Атомный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a Математическое моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a Трехслойные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a Границы зерен
|
| 610 |
1 |
|
|a Удельное сопротивление
|
| 610 |
1 |
|
|a Аппроксимативность
|
| 686 |
|
|
|a 22.371.26
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 29
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Сысоев
|b Г. И.
|g Геннадий Иванович
|
| 702 |
|
1 |
|a Стерхов
|b В. А.
|g Валерий Алексеевич
|4 727
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Физико-технический институт
|c (Ижевск)
|
| 711 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Уральское отделение
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Физико-технический институт
|c (Ижевск)
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук
|b Уральское отделение
|
| 801 |
|
0 |
|b НБУР
|a RU
|c 19971015
|
| 856 |
2 |
|
|u https://eanbur.unatlib.ru/handle/123456789/5717
|
