|
|
|
|
| LEADER |
01216nam0a2200265 i 4500 |
| 001 |
CF930281-5B98-47BD-8E38-776DA59084B3 |
| 100 |
|
|
|a 20201105d1985 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 000#y
|
| 200 |
1 |
|
|a Микроизображения: оптические методы получения и контроля
|f Б. Н. Котлецов
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Машиностроение, Ленинградское отделение
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 240с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 234-239 (142 названия)
|
| 606 |
|
|
|a Микроизображения
|x Формирование
|x Оптические методы
|
| 606 |
|
|
|a Фотошаблоны для интегральных схем
|
| 606 |
|
|
|a Микроизображения
|x Технический контроль
|x Оптические методы
|
| 606 |
|
|
|a Технический контроль
|x Микроизображения
|
| 686 |
|
|
|a 34
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 55
|a 59
|2 rugasnti
|
| 700 |
|
1 |
|a Котлецов
|b Б. Н.
|g Борис Николаевич
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20201105
|
