|
|
|
|
| LEADER |
00934nam0a2200253 i 4500 |
| 001 |
D4BB4EC3-2E3E-462C-BD34-AE102E7447E7 |
| 010 |
|
|
|a 5-02-006868-3
|d р.25.60
|
| 100 |
|
|
|a 20081111d1992 |||y0rusy02 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a ||||000zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы микроэлектронной технологии
|f отв. ред. Л. В. Великов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1992
|
| 215 |
|
|
|a 97, [3]с.
|c ил.
|d 22 см
|
| 225 |
2 |
|
|a Тр. ФТИАН
|f РАН, физ.-технол. ин-т ; гл. ред. К. А. Валиев
|x 0868-7129
|v т. 4
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
|
|
|a Микроэлектронная аппаратура
|x Производство
|
| 686 |
|
|
|a 32.844.1
|2 rubbk
|
| 686 |
|
|
|a 47
|2 rugasnti
|
| 702 |
|
1 |
|a Великов
|b Л. В.
|4 340
|
| 801 |
|
0 |
|b ГПНТБ России
|a RU
|c 20081111
|
